什么是碳化硅Pin Chuck-光刻盤(pán)？ 簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，它是一個(gè)用于在光刻機(jī)中高精度、平整地固定和支撐光掩模版（Reticle）或光刻版（Photomask）的專(zhuān)用夾具。 我們可以把這個(gè)概念拆解開(kāi)來(lái)理解： 核心功能： 固定與支撐