半導(dǎo)體制造環(huán)境極其苛刻，對(duì)材料的要求近乎“變態(tài)”。氧化鋁能脫穎而出，得益于其卓越的綜合性能組合： 極高的純度與化學(xué)穩(wěn)定性： 高純氧化鋁（如99.6%、99.7%）幾乎不釋放金屬離子，能抵抗等離子體（Plasma）侵蝕、不與被加工