在半導(dǎo)體芯片制造的復(fù)雜工藝流程中，載物臺（又稱“靜電卡盤”或“加熱盤”）是晶圓定位、溫控和工藝執(zhí)行的核心部件。其性能直接關(guān)系到工藝均勻性、良率與產(chǎn)能。在這一關(guān)鍵位置上，特種陶瓷材料因其不可替代的綜合性能，成為絕對的主流選擇。

引言： 半導(dǎo)體陶瓷是一類具有半導(dǎo)體特性的陶瓷材料，具有優(yōu)異的電學(xué)、熱學(xué)和力學(xué)性能。在現(xiàn)代科技領(lǐng)域中，半導(dǎo)體陶瓷廣泛應(yīng)用于電子器件、能源領(lǐng)域、傳感器、光電子器件等。本文將重點介紹幾種常見的半導(dǎo)體陶瓷材料及其應(yīng)用，以期加深對半導(dǎo)體陶瓷的了解。   一、氧化

超細粉體的粒徑和形貌對其理化性質(zhì)影響很大，其形貌基本上決定了粉體的整體和表面特性。此外，粉體的結(jié)構(gòu)和形態(tài)特征包括粉體的形狀、化學(xué)成分、材料成分、內(nèi)外表面積、體積和表面缺陷，這些共同決定了超細粉體的綜合性能。 超細氧化鋁粉體的結(jié)構(gòu)和形態(tài)要求根據(jù)應(yīng)用的不同而有所不同。例如，粒徑小、

半導(dǎo)體制造環(huán)境極其苛刻，對材料的要求近乎“變態(tài)”。氧化鋁能脫穎而出，得益于其卓越的綜合性能組合： 極高的純度與化學(xué)穩(wěn)定性： 高純氧化鋁（如99.6%、99.7%）幾乎不釋放金屬離子，能抵抗等離子體（Plasma）侵蝕、不與被加工