半導體制造業(yè)正經(jīng)歷著前所未有的技術革新，而其中兩項看似基礎的組件——碳化硅吸盤和噴淋頭，正在悄然改變先進制程的性能邊界。這些高純度陶瓷部件不僅是物理支撐結構，更是確保晶圓處理一致性、提升良率的關鍵技術。 碳化硅吸盤：從傳統(tǒng)材料到性能飛躍 在半導

1. 極端的熱學性能 優(yōu)異的熱導率：碳化硅陶瓷的熱導率非常高（約120-270 W/m·K，是氧化鋁陶瓷的5-10倍）。這意味著它能迅速、均勻地傳遞熱量。 半導體應用體現(xiàn)：在靜電吸盤（ESC）中，高導熱性確保晶圓背